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产品名称:KDX系列电阻率/方阻标准测量装置
产品型号:KDX系列
生产厂商:广州市昆德科技有限公司
产品编号:
产品单价:
所属栏目:热卖产品-->四探针电阻率/方阻测试仪系列
产品简介
 

电阻率或方阻测量精度达到或接近国内外电阻率/方阻标准计量装置。

用途:可用于硅片或锗片电阻率的检定、校验,是电阻率/方阻高精度测量仪器。

适用范围:半导体材料质量检验中心、集成电路研发单位、企业中心检验室、省级计量院。

电阻率/方阻标准测量装置与国家计量检定规程规定的级四探针电阻率/方阻测试仪性能对比:

                 类别

性能

级电阻率/方阻测试仪

KDX系列电阻率/方阻标准测量装置

电气测量准确性

0.3%

0.03-0.08%

B类扩展不确定度

0.5%

0.03-0.09%

电阻率测量准确度

±3-±5%

±0.2-±0.8%

中心点电阻率测量重复性

未标定

±0.02-±0.12%

注:以上性能参数随样品电阻率及电阻率均匀性的不同会有差异。电气测量准确度是用模拟电路法测定;电阻率测量准确度是与标准样片中心点电阻率检定值相比较。

价格:根据所需测量精度及配置要求商议。

 

 

 

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