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产品名称:半绝缘半导体电阻率分布测绘仪
产品型号:KDM-1000
生产厂商:广州市昆德科技有限公司
产品编号:
产品单价:
所属栏目:热卖产品-->非接触半绝缘半导体电阻率测试仪系列
产品简介

     KDM-1000是参照德国din标准DIN50448:“Determination of the resistivity of using a capacitor semi-insulating semiconductors利用电容测定半绝缘半导体的电阻率设计的半绝缘半导体电阻率测试仪,并取得了中华人民共和国知识产权局专利。半绝缘半导体有着广阔的应用前景,在能源、国防安全、新一代信息技术和人类生活等各个方面产生巨大的影响。半绝缘半导体电阻率在1051012Ω·cm,传统的四探针法已经无法测量。非接触的测量方法,无需切割样品和制备电极,因此测量迅速便捷,有利于第23代半导体的生产和研究,也可以使学生通过实验以全新的理念和途径测量半绝缘半导体的电阻率。

性能指标:

样品台:150mm×150mm

测量方式:扫描测量

X-Y轴重复定位精度:2µm

X-Y移动速度:最大每秒40mm

最大扫描点数:1024×1024

探头高度调整:自动调整

探头:配置氮气装置

探头重定位精度:1µm

遮光罩:测试区域配置遮光罩

可测电阻率范围:1×1051012Ω·cm

探针直径:1mm或2mm

重复性(同一测试点):1×106109Ω·cm以内1%,小于1×106或大于109Ω·cm10%

读数方式:配置工控机及测试软件系统,自动采集数据并计算、保存测试结果,绘制彩色分布图,可导出测试数据及分布图

操作系统:支持win7win8win10

可测样片直径:10mm150mm

可测样片厚度:250µm5000µm

样片表面:锯面、腐蚀面或抛光面,粗糙度小于10µm

样品厚度:总厚度变化<25µm

 

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